Male Nut  不銹鋼VCR公螺母 高純氣體硬密封 EP級儀表接頭

電子特氣材料具體包括半導體前驅體材料/旋涂絕緣介質(SOD)、電子特氣、半導體材料輸送系統

(LDS)、光刻膠和球形硅微粉等業務種類。產品主要應用于集成電路芯片制造的旋涂、化學氣相沉

積及原子層沉積等成膜工藝，集成電路清洗、刻蝕，集成電路封裝等。

VCR接頭材質上，接管（Gland）、本體（Body）和螺母（Nut）的材質一般為SUS316 或SUS316L。

墊片（Gasket）的材質一般為 SUS316L鎳或銅（銅墊片現在基本不使用），墊片有鍍銀和不電鍍之分。

VCR內螺紋螺母（FemaleNut）的內螺紋經過鍍銀處理，以防止磨損。

Male Nut  不銹鋼VCR公螺母 高純氣體硬密封 EP級儀表接頭

氣體行業的主要產品包括氧氣、氫氣、一氧化碳、氮氣等等重要的大宗工業原料，對純度要求并

不高。后隨著電子工業等高新技術的發展，出現了電子氣體及其它特殊用途的高純氣和混合氣，

統稱為特種氣體。由于特種氣體是當時的新興行業，涉及的氣體品種繁多，應用范圍又很廣，各

國對特種氣體沒有形成統一的定義和分類。近10年，國內電子氣體不斷實現高端品種的技術突破，

與國外的技術代差逐漸縮小，外資氣體公司在華的壟斷格局松動，國產氣越來越多地進入下游大

客戶的供應鏈。

凈系統、超高真空系統及高壓系統。因為采用了金屬密封元件，VCR接頭的額定工作溫度范圍比較廣（

采用SUS316L墊片的 VCR接頭，溫度額定值可達537℃）。VCR接頭便于安裝，具有最小拆卸間隙，可

以反復拆裝（拆卸后重新安裝需要更換新墊片）。

1、安裝步驟

安裝前要確保TUBE管連接端的表面沒有缺陷（無凹陷、凸起或刮痕等），端面經切割和平口成90

度，并且去除了管內外毛刺。

VCR接頭安裝步驟：

（1）需要連接的VCR組件如圖1所示。

（2）分別將外螺紋螺母（Male Nut）和內螺紋螺母（Female Nut）套在接頭（Gland）上，然后分別同需要連接的TUBE管自動焊接

（3）安裝金屬墊片：如果是帶爪墊片，將墊片卡在Gland上（注意不要劃傷Gland的密封面）；如果是無爪墊片，將墊片放進Female Nut內。

（4）用手指擰緊內、外螺母。

（5）用記號筆在內、外螺母的六角頭上劃線做記號。

（6）用一個扳手固定外螺紋螺母，另一個扳手向內擰緊內螺紋螺母1/4圈

我國電子氣體市場大部分由幾大國際巨頭所占據，高端氣體更是幾乎完全依賴進口，一方面價格

昂貴，進口氣價格一般會達到國產氣的2-3倍甚至更高，增加IC產業制造成本，削弱了我國IC產業

的競爭力;另一方面某些核心尖端氣體海外巨頭對我國實施各種封鎖限制，供應情況受國際關系影

響，對我國國家安全及經濟發展構成威脅。此外，很多電子氣體本身屬于危險化學品，進口手續

繁瑣、周期長，且某些電子氣體性質不穩定自發分解，或強腐蝕長時間放置雜質含量提高，漂洋

過海進口本身就存在諸多不便。